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PDC-36G 等離子清洗機

PDC-36G 等離子清洗機

簡要描述:PDC-36G 等離子清洗機是一種緊湊型、低成本的等離子清洗機。使用空氣、氧氣、氬氣等離子去除納米級有機物污染。在射頻電源的作用下,去除速率大每分鐘10納米。在單晶材料外延薄膜生長以前進行預處理,對生長具有顯著的作用 。

產(chǎn)品型號:

所屬分類:等離子清洗機

更新時間:2024-11-05

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

詳情介紹
功能特點
  • 結(jié)構(gòu)緊湊、小型化的桌上型儀器;
  • 用各種氣體清洗和去除晶片上納米級有機污染物;
  • 在制膜實驗之前預先清潔鍍膜基底的優(yōu)秀工具。清洗后鍍膜的質(zhì)量可以更好;
  • 鉸鏈式門,方便裝樣;
  • 石英腔的直徑是3英寸,在里面可以放入一個石英舟,大清洗一個2英寸的基片;
  • 清洗腔里面的石英管可以拆卸,方便清洗和更換;
  • 使用可調(diào)射頻電源,可以設(shè)置功率為低、中、高級別;低成本、操作安全;
技術(shù)參數(shù)
主要參數(shù)

 

● 低功率設(shè)定:直流680V,10mA,6.8W

● 中功率設(shè)定:直流700V,15mA,10.5W

● 高功率設(shè)定:直流720V,25mA,18W

● 射頻源輸出頻率:13.56MHz

● 等離子直流電源

● 輸入電壓:220V,50Hz

 

等離子腔室

 

● 直徑75mmx長200mm的石英墻體,前蓋可以開啟

● 高純度石英腔體,使用壽命比玻璃長

 

真空計

 

● 設(shè)備標配一個數(shù)顯電阻真空機用于實時監(jiān)測清洗倉內(nèi)的真空度。

 

可選配件

 

● 您可以訂購額外的石英腔體,用于備用

● 如果需要一個通入兩種氣體的工藝解決方案,PDC-36G等離子清洗機可以與2路混氣系統(tǒng)組合(點擊下面圖片了解詳情)

● 您可以訂購石英晶片載體來清潔2英寸晶片

● 1 1

 

真空泵和閥

 

● 此設(shè)備不包含真空泵

● 您可以點擊下方圖片了解真空泵信息

● 1

 

工作氣體

 

● 多種氣體可以用于等離子清洗,例如氮氣、氬氣、空氣、混合氣體,主要取決于處理何種材料。

● 可以使用<4%的H2混合惰性氣體

● 警示:不能使用可燃性及腐蝕性氣體

 

 

等離子清洗及刻蝕的方法

1

 

外形尺寸

 

353mm(L)x380mm(W)x225mm (H)

 

凈重

 

8kg(不含泵)

 

認證

 

CE認證

 

質(zhì)保期

 

● 一年保修,終身技術(shù)支持。

● 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

                    2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

● 點擊查看售后服務承諾書。

 

工作原理

 

等離子清洗機工作原理

 

 



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