PCE-44-LD 小型紫外臭氧清洗機
簡要描述:PCE-44-LD 小型紫外臭氧清洗機,可用于清洗各種單晶基片,以保證更好的成膜質(zhì)量。同時也可去除光刻膠、改善材料表面潤濕性、清洗SEM和TEM樣品及紫外活化聚合物等。紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段,特別適合清除一些有機化合物。紫外燈主要發(fā)出兩種波長的光:185nm和254nm.其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌粞酰?54nm可以破壞化合物中的鍵
產(chǎn)品型號:
所屬分類:臭氧清洗機
更新時間:2024-11-05
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
PCE-44-LD是一款小型紫外臭氧清洗機,可用于清洗各種單晶基片,以保證更好的成膜質(zhì)量。同時也可去除光刻膠、改善材料表面潤濕性、清洗SEM和TEM樣品及紫外活化聚合物等。紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段,特別適合清除一些有機化合物。紫外燈主要發(fā)出兩種波長的光:185nm和254nm.其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌粞酰?54nm可以破壞化合物中的鍵(特別是碳碳鍵)。所以這兩種波長的光組合可有效地清除有機化合物。
技術(shù)參數(shù) | |
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電源 | ● AC 208~240V,單相 50/60Hz |
紫外燈 | ● 可發(fā)出雙波長的水銀燈 ● 功率:55W ● 發(fā)出光的波長:254nm 和185nm ● 使用壽命:2500 小時(可更換) ● 照射區(qū)域:100 x 100 mm ● 光照強度:4.6 mw/cm2 |
腔體 & 樣品臺 | ● 抽拉盒尺寸: 133 x 133x 25mm ● 支架尺寸: 100mmx 100mm x 19 ● 抽屜底座與紫外燈的距離:27mm ● 樣品臺與紫外燈的距離:8mm |
應(yīng)用 | ● 去除分子級別的污染物 ● 紫外光固化粘合劑 ● 紫外光催化 ● 氧化PDMS ● 表面消毒 ● 刻蝕 ● 清洗MEMS 器件 ● 清洗各種基片,如Si, Ge, GaAs和各種氧化物單晶基片 |
環(huán)境要求 | ● 僅室內(nèi)使用; 海拔高度在5,562英尺以內(nèi) ● 溫度范圍41-104華氏度 ● 大相對濕度80%,大87華氏度,104華氏度線性降至50%相對濕度 ● 主電源波動不超過標(biāo)稱電壓的10% ● 污染等級2; 臭氧水平(環(huán)境)測量<45 ppb |
外形尺寸 | ● 240mm*200mm*152mm |
凈重 | 4Kg |
認(rèn)證 | CE認(rèn)證 |
質(zhì)保期 | ● 一年保修,終身技術(shù)支持。 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 ● 點擊查看售后服務(wù)承諾書。 |
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