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PCE-44-LD 小型紫外臭氧清洗機

PCE-44-LD 小型紫外臭氧清洗機

簡要描述:PCE-44-LD 小型紫外臭氧清洗機,可用于清洗各種單晶基片,以保證更好的成膜質(zhì)量。同時也可去除光刻膠、改善材料表面潤濕性、清洗SEM和TEM樣品及紫外活化聚合物等。紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段,特別適合清除一些有機化合物。紫外燈主要發(fā)出兩種波長的光:185nm和254nm.其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌粞酰?54nm可以破壞化合物中的鍵

產(chǎn)品型號:

所屬分類:臭氧清洗機

更新時間:2024-11-05

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

詳情介紹

PCE-44-LD是一款小型紫外臭氧清洗機,可用于清洗各種單晶基片,以保證更好的成膜質(zhì)量。同時也可去除光刻膠、改善材料表面潤濕性、清洗SEM和TEM樣品及紫外活化聚合物等。紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段,特別適合清除一些有機化合物。紫外燈主要發(fā)出兩種波長的光:185nm和254nm.其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌粞酰?54nm可以破壞化合物中的鍵(特別是碳碳鍵)。所以這兩種波長的光組合可有效地清除有機化合物。

技術(shù)參數(shù)
電源


● AC 208~240V,單相 50/60Hz


紫外燈


● 可發(fā)出雙波長的水銀燈

● 功率:55W

● 發(fā)出光的波長:254nm 和185nm

● 使用壽命:2500 小時(可更換)

● 照射區(qū)域:100 x 100 mm

● 光照強度:4.6 mw/cm2



腔體 & 樣品臺


● 抽拉盒尺寸: 133 x 133x 25mm

● 支架尺寸: 100mmx 100mm x 19

● 抽屜底座與紫外燈的距離:27mm

● 樣品臺與紫外燈的距離:8mm



應(yīng)用


● 去除分子級別的污染物

● 紫外光固化粘合劑

● 紫外光催化

● 氧化PDMS

● 表面消毒

● 刻蝕

● 清洗MEMS 器件

● 清洗各種基片,如Si, Ge, GaAs和各種氧化物單晶基片


環(huán)境要求


● 僅室內(nèi)使用; 海拔高度在5,562英尺以內(nèi)

● 溫度范圍41-104華氏度

● 大相對濕度80%,大87華氏度,104華氏度線性降至50%相對濕度

● 主電源波動不超過標(biāo)稱電壓的10%

● 污染等級2; 臭氧水平(環(huán)境)測量<45 ppb


外形尺寸


● 240mm*200mm*152mm


凈重


4Kg


認(rèn)證


CE認(rèn)證


質(zhì)保期


● 一年保修,終身技術(shù)支持。

特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

         2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

● 點擊查看售后服務(wù)承諾書。


免責(zé)聲明


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