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--小型等離子清洗機(jī)

--小型等離子清洗機(jī)

簡(jiǎn)要描述:--小型等離子清洗機(jī)
應(yīng)用范圍:PCE-6小型等離子清洗機(jī)的等離子腔體為Ø160mm×190mm的石英腔體,采用的射頻電源功率3.0MHz(1%),輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。本機(jī)主要是通過(guò)空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來(lái)去除基片上的氧化層和污染物,同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等),對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。

產(chǎn)品型號(hào): PCE-6

所屬分類(lèi):鈣鈦礦太陽(yáng)能電池制備

更新時(shí)間:2024-11-06

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

詳情介紹
PCE-6--小型等離子清洗機(jī)的等離子腔體為?160mm×190mm的石英腔體,采用的射頻電源功率3.0MHz(1%),輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。本機(jī)主要是通過(guò)空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來(lái)去除基片上的氧化層和污染物,同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等),對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。
功能特點(diǎn)
  • 通過(guò)控制面板的按鍵及開(kāi)關(guān),可控制調(diào)節(jié)射頻功率、真空泵的開(kāi)閉、清洗時(shí)間;

  • 時(shí)間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上;

  • 設(shè)有一個(gè)三通閥,可精確控制進(jìn)氣流量,以及大氣流清洗腔體,進(jìn)氣接口為6mm卡套接口;

  • 選用大功率射頻電源設(shè)備可進(jìn)行等離子刻蝕和等離子灰化實(shí)驗(yàn);

  • --小型等離子清洗機(jī)

  • 設(shè)備可實(shí)現(xiàn)清洗及蝕刻功能如下:

    --小型等離子清洗機(jī)
技術(shù)參數(shù)
電源單相AC220V±10%,頻率:50Hz/60Hz,總功率約600W(含真空泵)
輸出功率7.2W、10.2W、29.6W
射頻頻率3.0MHz,功率3檔可手動(dòng)調(diào)節(jié)
等離子腔體高純石英腔體,?160mm×190mm,采用鋁制折疊式法蘭進(jìn)行密封,法蘭上設(shè)有?45mm的觀察窗
真空泵標(biāo)配直連式雙旋真空泵,流量120L/min,功率約500W
極限真空度50mtorr
通入氣體可通入多種氣體來(lái)產(chǎn)生等離子,如N2、Ar、H2、O2、Air和混合氣體等(根據(jù)材料性質(zhì)選定)
外形尺寸約L400*W300*H300mm(不含真空泵)
重量約10.2kg(不含真空泵)





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